真空除氧器是由三部分设备组​成

真空除氧器主要由除氧器（除氧塔与除氧水箱），罗旋水喷射真空泵机组、引水泵机组等三部分设备组成。
1、真空除氧器除氧塔
除氧塔内装有铜制作雾化喷头，每只喷头处理水量恒定，从而得到适合的喷雾效果。塔内装有填料层、传质块，亲水性能好。雾化的结果大大增加了水的脱气面积，当雾化的水滴继续流经无规则堆放的填料层时，进一步加强了脱气效果。因此，虽然水在脱气塔内停留的时间很短，然而除氧效果很好。

2、真空除氧器除氧水箱
除氧器运行时，水箱内处于负压。因此在高位安装时，水箱出口处与锅炉给水泵进口之间的净距离不得小于11米。在低位安装时（水箱出水口与锅炉给水泵在同一高度），水箱出水口要接上引水泵机组，使负压水升压后进入锅炉给水泵，水箱上装有人孔，便于维修保养时使用。

3、水喷射真空泵机组
真空除氧器泵组由水喷射真空泵、循环水箱、离心泵组成。离心泵将循环水通过喷嘴造成高速水流而产生真空。本水喷射真空除氧装置可利用软化兼作循环水，温度不会升高，因而可得到较高的真空度，提高除氧效果。方法是利用原有的软化水水箱兼作循环水箱，节约设备及占地面积。
4、引水泵机组
在除氧器低位安装时使用，通过该泵将负压的除氧水升压后进入锅炉给水泵。